執行目標與成果

│ 分項1 矽基量子點量子計算實驗

• 計畫簡介

本計劃的主軸為開發矽基半導體量子電腦的相關技術，包含與CMOS製程相容的高可靠度量子位元，操控及讀取量子位元的cryo-CMOS低雜訊、低功耗主動電路，以IPD (Integrated Passive Device)製程設計的被動電路，並整合量子位元與所需的主被動電路於IPD基板，達成微型化的目標，未來可進一步實現大規模的通用型矽基半導體量子電腦。

(a) 矽基量子位元製作於8-inch SOI晶圓 (b) FinFET 量子位元的上視圖(c) Cryo-CMOS 低雜訊放大器晶片圖(d)微型化IPD濾波器晶片圖

• 團隊成員

計畫總主持人

•徐碩鴻教授/國立清華大學電機系暨電子所  詳細資訊(個人網頁)

共同主持人

•張鑑元助理教授/國立清華大學電機系暨電子所   詳細資訊(個人網頁)

•蕭子綱助理教授/國立清華大學物理學系  詳細資訊(個人網頁)

•卓大鈞研究員/財團法人國家實驗研究院台灣半導體研究中心